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硅与纯氮气反应的化学方程式为：3Si+2N2Si3N4，
故答案为：3Si+2N2Si3N4；
方法一所得到的产品中混有单质硅，而方法二除产品是固体，其他物质均为气体，故方法二得到氮化硅纯度较高；
故答案为：方法一所得到的产品中混有单质硅，而方法二除产品是固体，其他物质均为气体；
依据化学反应中原子个数守恒可知四氯化硅与氨气反应：3SiCl4+4NH3=Si3N4+12HCl，故答案为：HCl；
依据化学反应中原子个数守恒可知3Si（NH2）4Si3N4+8NH3 ；故答案为：NH3 ．