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据我所知在东汉魏伯阳的《参同契》中隐约可以找到类似的术语，《参同契》被称为万古丹经，魏伯阳总结了东汉以前的丹经修炼方法，系统总结了关于炼丹的所有东西，是后世金丹大道的起始点，后世基本的修炼方法与此无异。在这之前，有文字可考的，老子的《道德经》中也隐晦提出了精、气、神的看法，其实在《庄子》一书中也有这样的说法，只是古语大用隐晦之词，或谐音通假很难分辨原意。到了唐代，这些语句基本上可以非常清楚的看到，包括《吕组》一书，是吕洞宾的个人修炼体会，而在后来宋代王重阳的《五篇灵文》明显可以看到这样的说法。
你如果有兴趣可以去找找，
可能是在宋代才有这种说法，因为唐宋以前是以炼外丹为主，后来才有金丹大道以上过程
这个问题只有你请教一些专业的人士了，网络上是不会给你答案的
再看看别人怎么说的。
西游
无从追朔，你还是多看看气功大全之类的书，全都都有记载，谁先谁后，鬼才知道，总之都是在秦皇求仙丹无果之后，人们才开始以易经为基本原理，对内丹进行研究与开发的出来的气功仙术。
即心即佛，修仙者绕了一个大圈，还不是要化虚自身，以还虚空本质？回归空性？本无人我，实不应执妄身，以为自有，是为自缚。